FG26T0050CBCBFB2A1

产品详情：

测量类型：绝压

量程：0~50 Torr

精度：±0.25% FS

重复性：≤0.05% FS

温度漂移：≤0.02% FS/°C（恒温状态）

供电：+15 VDC（传感）+ 24 VDC（加热）

输出信号：0~10 V

加热温度：可控恒温

工作温度：0 ~ 80 °C

存储温度：-20 ~ 70 °C

材质：哈氏合金感膜，316L不锈钢壳体

适用介质：含水汽、弱腐蚀工艺气体

响应时间：<120 ms

产品说明

美国竞品，内置加热模块，抑制水汽、工艺副产物冷凝结霜，避免零点漂移，适配刻蚀、CVD水汽工艺，常与MFC流量控制器配套使用，国产化替代进口昂贵加热薄膜规。

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