CHFG FG26T 电容薄膜真空传感器，适配 MKS PPCMA 系列压力控制器传感芯体替换

江苏首仪精密制造有限公司旗下 CHFG 品牌自研 FG26T 系列电容薄膜真空压力传感器（CDG），面向半导体真空工艺场景开发，可作为 MKS PPCMA 系列集成压力控制器内部 Baratron 传感单元国产化替代方案。

产品完成零点稳定性、温漂、压力重复性等多轮性能测试，适配半导体功率封测真空腔体工况，支持客户送样上机评估，为半导体设备厂商、功率封测企业提供稳定、短交期的真空压力监测解决方案。