半导体真空测控行业：国产替代重心由整机控制器转向 CDG 传感芯体验证

高端半导体真空集成压力控制器市场长期由海外品牌垄断，整机集成产品涉及阀体、流量控制、信号采集等复合技术，国产化落地难度高。行业替代策略已明确转向：优先实现压力控制器内部 CDG 电容薄膜传感芯体国产化。

国内真空传感企业重点攻关零点漂移、温度漂移、耐工艺污染、长期稳定性等核心指标，开发兼容进口控制器安装尺寸、电气信号的 CDG 传感器，面向半导体封测、PVD 真空镀膜、科研真空腔体开展送样验证。

下游客户选型逻辑已从单纯参数对标，升级为接口兼容、样品快速交付、本地化技术支持、计量校准溯源等综合评估。伴随半导体真空测量相关测试规范落地，国产 CDG 的测试、上机验证流程标准化，加速导入半导体产线。

本文为 CHFG 行业观察，基于真空测量产业市场现状整理，仅供行业交流参考。